产品与方案
立足光电行业,以光学、机械、数码电子三大核心技术的组合为基础
PJ80半导体检查显微镜

PJ80半导体检查显微镜

一、仪器简介:

1、物镜转盘等采用电动切换模式,操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 动平台,为半导体、FPD 检测提供最 佳的 应用环境。最大可支持 200mm 晶圆及14 英寸液晶面板的检查。

2、显微镜采用长工作距离复消色差APO物镜, 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34,     20X/NA0.3/WD31(可选50X物镜NA0.45,WD20.1和100X物镜NA0.80,WD6)。超长的工作距离带来更自由的操作空间。特别适合半导体探针,点墨,擦拭,清洁等工站使用。

3、采用全新LED照明系统和光学系统,照明均匀,成像清晰。突破性的大金相机架设计,可承载8英寸超大工作平台, 平台面积525mmX330mm, 采用了离合器驱动的手动XY载物台,移动行程210*210mm。

PJ80-11.jpgPJ80-111.jpg

PJ80-BD明暗场观察

    

PJ80-BD

光学系统

无限远色差校正光学系统

光学放大倍数

50-500(可选1000)

数码放大倍数

150-1500倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000

工业相机

12001/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素)

观察筒

角度可调像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=1000

目镜

高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调

明暗场物镜

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 5X   NA0.15  WD15

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 10X  NA0.30  WD8.4

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 20X  NA0.40  WD11.9

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 50X  NA0.75  WD3.0

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜 100X  NA0.90  WD1.0   (可选)

无限远长工作距明暗场复消色差金相物镜 50X   NA0.55   WD8.0  (可选)

无限远长工作距明暗场复消色差金相物镜 100X  NA0.80   WD2.8  (可选)

物镜转换器

电动明暗6孔转换器(带DIC插槽)物理按钮和软件双控.

机架

反射用机架低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

载物台

8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,XY方向同轴调节;含快速移动装置

聚光镜

摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9

反射照明器

场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,

灯室

5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

摄像接口

摄影摄像附件:0.65XC型接口,可调焦(可选0.5X/1X

偏光组件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

电脑

品牌电脑和显示器

测量软件

测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合

标尺

高精度型测微尺,格值0.01mm

PJ80-B明场观察

    

PJ80-B

光学系统

无限远色差校正光学系统

光学放大倍数

50-500(可选1000)

数码放大倍数

150-1500倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000

工业相机

12001/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素)

观察筒

角度可调像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=1000

目镜

高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调

明场物镜

无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 5X   NA0.15  WD15

无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 10X  NA0.30  WD8.4

无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 20X  NA0.40  WD11.9

无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 50X  NA0.75  WD3.0

无限远长工作距明场半复消色差金相物镜 100X  NA0.90  WD1.0   (可选)

无限远长工作距明场复消色差金相物镜 50X   NA0.55   WD8.0  (可选)

无限远长工作距明场复消色差金相物镜 100X  NA0.80   WD2.8  (可选)

物镜转换器

电动明暗6孔转换器(带DIC插槽)物理按钮和软件双控.

机架

反射用机架低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

载物台

8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,XY方向同轴调节;含快速移动装置

聚光镜

摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9

反射照明器

明场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,

灯室

5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

摄像接口

摄影摄像附件:0.65XC型接口,可调焦(可选0.5X/1X

偏光组件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

电脑

品牌电脑和显示器

测量软件

测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合

标尺

高精度型测微尺,格值0.01mm

PJ80-APO95mm镜头

    

PJ80-APO

光学系统

无限远色差校正光学系统

光学放大倍数

20-200(可选1000)

数码放大倍数

60-600倍(21.5寸显示器)搭配100倍物镜倍数可达3000

工业相机

12001/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素)

观察筒

角度可调像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=1000

目镜

高眼点大视野目镜PL10X26mm,视度可调

95mmAPO

长距离

物镜

无限远长工作距明场金相物镜 2X   NA0.06  WD34

无限远长工作距明场金相物镜 5X   NA0.15  WD45

无限远长工作距明场金相物镜 10X  NA0.3   WD34

无限远长工作距明场金相物镜 20X  NA0.3   WD31

物镜转换器

电动明暗6孔转换器(带DIC插槽)物理按钮和软件双控.

机架

反射用机架低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

载物台

8英寸平台,平台面积 525*330mm,移动行程:210mmX210mm机械平台,XY方向同轴调节;含快速移动装置

聚光镜

摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9

反射照明器

场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,

灯室

5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

摄像接口

摄影摄像附件:0.65XC型接口,可调焦(可选0.5X/1X

偏光组件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

电脑

品牌电脑和显示器

测量软件

测量软件,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,扫码上传,实时图像拼接,景深融合

标尺

高精度型测微尺,格值0.01mm

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